Produkt introduksjon
Materialegenskaper
Parameter | Karakteristisk | ASTM -kontrollmetode |
Type/dopingsmiddel | P, Boron N, fosfor N, Antimon N, Arsen | F42 |
Orienteringer | <100>, <111>Skjær av orienteringer per kundens spesifikasjoner | F26 |
Oksygeninnhold | 1019 PPMA tilpassede toleranser per kundens spesifikasjon | F121 |
Karboninnhold | < 0.6 ppmA | F123 |
Resistivitetsområder-p, Boronn, fosforn, antimonus, arsen | 0.001 - 50 ohm cm | F84 |
Mekaniske egenskaper
Parameter | Prime | Overvåke/ test a | Test | ASTM -metode |
Diameter | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,5 mm | F613 |
Tykkelse | 725 ± 20 um (standard) | 725 ± 25 um (standard) 450 ± 25 um 625 ± 25 um 1000 ± 25 um 1300 ± 25 um 1500 ± 25 um | 725 ± 50 um (standard) | F533 |
TTV | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm | F657 |
Bue | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm | F657 |
Pakk | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm | F657 |
Kantrunding | Semi-std | F928 | ||
Merking | Bare primær semi-flat, semi-std leiligheter jeida flat, hakk | F26, F671 | ||
Overflatekvalitet
Parameter | Prime | Overvåke/ test a | Test | ASTM -metode |
Front sidekriterier | ||||
Overflatetilstand | Kjemisk mekanisk polert | Kjemisk mekanisk polert | Kjemisk mekanisk polert | F523 |
Overflateuhet | < 2 A° | < 2 A° | < 2 A° | |
Contamination,Particles @ >0.3 µm | = 20 | = 20 | = 30 | F523 |
Dis, groper, appelsinskall | Ingen | Ingen | Ingen | F523 |
Så merker, striper | Ingen | Ingen | Ingen | F523 |
Back -sidekriterier | ||||
Sprekker, crowfeet, sagmerker, flekker | Ingen | Ingen | Ingen | F523 |
Overflatetilstand | Kaustisk etset | F523 | ||
Produktbeskrivelse
Perfekt for mikrofluidikkapplikasjoner . For mikroelektronikk eller MEMS -applikasjoner, vennligst kontakt oss for detaljerte spesifikasjoner .
Mikroelektronikkens produktlinje inkluderer både polert (SSP) og dobbeltsiden polert (DSP) wafer -underlag . dobbeltsiden polerte skiver er vanligvis nødvendige i halvleder, mems og andre applikasjoner der skiver med tett kontrollert flathet og enhet produserer .}}}}}}}}}}}}}}}}} prosjekter .
Stort lager av dobbeltsiden polerte skiver i alle skivediametre fra 100 mm til 300mm . Hvis spesifikasjonen din ikke er tilgjengelig i vårt varelager, har vi etablert langsiktige forhold med mange leverandører som er i stand til å produsere wafers for å passe til alle unike spesifikasjoner . dobbeltsiden polerte wafers for å passe til SIL -glass. dobbeltsiden som er tilgjengelige i SIL. halvlederindustri .
Tilpasset terning og polering er også tilgjengelig i henhold til dine krav ., vennligst kontakt oss .
Produktfunksjoner
· 8 "P/N -type, polert silisiumskive (25 stk)
· Orientering: 200
· Motstand: 0.1 - 40 ohm • cm (det kan variere fra batch til batch)
· Tykkelse: 725+/-20 um
· Prime/Monitor/testkarakter
Populære tags: 8 tommers (200 mm) wafer, Kina, leverandører, produsenter, fabrikk, laget i Kina
