【Produkt introduksjon】
MATERIALE EGENSKAPER
Parameter | Karakteristisk | ASTM kontrollmetode |
Type / Dopant | P, Bor N, Fosfor N, Antimon N, Arsen | F42 |
orienteringer | <100>, <111> skille retninger per kundens spesifikasjoner | F26 |
Oksygeninnhold | 10 18 ppmA Tilpassede toleranser per kundens spesifikasjon | F121 |
Karboninnhold | <0,5 ppma="" tilpassede="" toleranser="" per="" kundens=""> | F123 |
Resistivitetsområder -P, Boron-N, Fosfor-N, Antimon-N, Arsen | 0,001 - 50 ohm · cm | F84 |
MEKANISKE EGENSKAPER
Parameter | Prime | Overvåk / test A | Test | ASTM Metode |
Diameter | 100 ± 0,2 mm | 100 ± 0,2 mm | 100 ± 0,5 mm | F613 |
Tykkelse | 525 ± 20 μm (standard) | 525 ± 25 μm (standard) 381 ± 25 μm 625 ± 25 μm 700 ± 25 μm 800 ± 25 μm 1000 ± 25 μm 1500 ± 25 μm | 525 ± 50 μm (standard) | F533 |
TTV | <5> | <10> | <15> | F657 |
Bue | <30> | <30> | <40> | F657 |
Pakke inn | <30> | <30> | <40> | F657 |
Kantrunding | SEMI-STD | F928 | ||
merking | SEMI-STD Flats, kun primær SEMI-flat | F26, F671 | ||
OVERFLATE KVALITET
Parameter | Prime | Overvåk / test A | Test | ASTM Metode |
Forsiden Kriterier | ||||
Overflateforhold | Kjemisk mekanisk polert | Kjemisk mekanisk polert | Kjemisk mekanisk polert | F523 |
Overflateruhet | <2 a=""> | <2 a=""> | <2 a=""> | |
Forurensning, partikler @> 0,3 μm | = 20 | = 20 | = 30 | F523 |
Haze, Pits, Appelsinskall | Ingen | Ingen | Ingen | F523 |
Sagsmerker, striber | Ingen | Ingen | Ingen | F523 |
Tilbake Side Kriterier | ||||
Sprekk, kråkefe, såker, flekker | Ingen | Ingen | Ingen | F523 |
Overflateforhold | Caustisk etset | F523 | ||
【 Produktbeskrivelse 】
Mikroelektronikkens produktlinje inkluderer både enkeltsidigpolert (SSP) og dobbeltsidigpolert (DSP) wafersubstrater. Dobbeltsidede polerte wafers kreves vanligvis i halvleder, MEMS og andre applikasjoner der det kreves wafers med tett kontrollerte flathetskarakteristikker.
Vi tilbyr også rektangulære og firkantede wafer stykker. I utgangspunktet realiserbar rekkevidde av kantlengder for silisiumplater er 5 x 5 mm2 ... 100 x 120 mm2 osv. Kostnad / waferstykket avhenger av materialet og antall plater som kreves.
Tilpasset dicing og polering er også tilgjengelig i henhold til dine krav. Ta gjerne kontakt med oss.
【 Produktegenskaper 】
· 4 "P / N type, polert silisiumskive (25 stk)
· Orientering: 100
· Resistivitet: 0,1 - 40 Ohm · cm (Det kan variere fra batch til batch)
· Tykkelse: 525 +/- 20um
· Prime / Monitor / Test Grade
Populære tags: 4 tommer (100mm) wafer, Kina, leverandører, produsenter, fabrikk, laget i Kina
