Kilde: mtiinstruments
ASTM F657:
Avstanden gjennom en skive mellom tilsvarende punkter foran og bakoverflaten. Tykkelse uttrykkes i mikron eller mils (tusendels tomme).
Variasjon av total tykkelse (TTV)
ASTM F657:
Forskjellen mellom maksimums- og minimumsverdiene for tykkelse som oppstår under et skannemønster eller serie punktmålinger. TTV er uttrykt i mikron eller mils (tusendels tomme).
Figuren over viser en skive plassert mellom to måleprober uten berøring. Ved å overvåke endringer mellom den øvre sondeoverflaten og den øvre skiveoverflaten (A) og den nedre sondeflaten og den nedre skiveoverflaten (B), kan tykkelsen beregnes. Først må systemet kalibreres med en skive med kjent tykkelse (T w ). Området med kjent tykkelse er plassert mellom sonderne og en øvre sonde til skiveavstand (A), og en nedre sond til skiveavstand (B) ervervet. Det totale gapet (Gtotal) mellom de øvre og nedre sonder beregnes deretter som følger:
G totalt = A + B + T w
Med systemet kalibrert kan nå skiver med ukjent tykkelse måles. Når skiven plasseres mellom sonderne, anskaffes en ny verdi av A og B. Tykkelse beregnes som følger:
T w = G totalt - (A + B)
Under en automatisk skanning av skiven, tas og lagres en serie punktmålinger. Etter fullført skanning beregnes TTV som følger:
TTV = T maks - T min
IKKE KONTAKT BÅMÅLING
ASTM F534 3.1.2:
Avviket fra midtpunktet til medianoverflaten til en fri, ikke-klemt skive fra referanseplanet for median overflate etablert med tre punkter som er like fordelt på en sirkel med en diameter som er spesifisert mengde mindre enn skivenes nominelle diameter.
Median overflate:
Lokaliteten til punkter i skiven like langt mellom for- og bakflatene. Når du måler og beregner bue, er det viktig å merke seg at platens medianflate må være kjent. Ved å måle avvik på medianoverflaten, fjernes lokale tykkelsesvariasjoner ved midtpunktet på skiven fra beregningen.
Over viser forholdet mellom wafer-medianoverflaten mellom de to sondeoverflatene hvor:
D = Avstand mellom øvre og nedre sondeoverflate
A = Avstand fra øvre sonde til øverste skiveoverflate
B = Avstand fra nedre sonde til bunnplate
Z = Avstand mellom medianoverflaten og punktet halvveis mellom øvre og nedre sonde (D / 2)
For å bestemme verdien av Z på et hvilket som helst sted på skiven, er det to ligninger:
Z = D / 2 - A - T / 2 og Z = -D / 2 + B + T / 2
Løsning av begge ligningene for Z, kan verdien bestemmes ganske enkelt ved:
Z = (B - A) / 2
Siden baugen bare måles på skivens midtpunkt, beregnes et tre (3) punkts referanseplan rundt kanten av skiven. Verdien på baugen beregnes deretter ved å måle plasseringen av medianoverflaten i midten av skiven og bestemme dens avstand fra referanseplanet. Merk at bue kan være et positivt eller negativt tall. Positivt angir midtpunktet til medianflaten er over trepunktsreferanseplanet. Negativt angir midtpunktet til medianflaten er under trepunktsreferanseplanet.
MÅLING OM WARP FOR SOLAR INDUSTRI
ASTM F1390:
Forskjellene mellom den maksimale og minste avstanden til medianoverflaten til en fri, ikke-klemt skive fra et referansested. I likhet med bue er varp en måling av differensieringen mellom medianoverflaten til en skive og et referanseplan. Warp bruker imidlertid hele medianflaten på skiven i stedet for bare posisjonen på midtpunktet. Ved å se på hele skiven gir warp en mer nyttig måling av ekte skiveform. Plasseringen av medianflaten beregnes nøyaktig som for bue og vist ovenfor. For bestemmelse av varp er det to valg for konstruksjon av referanseplanet. Det ene er det samme trepunktsplanet rundt kanten av skiven. Det andre er ved å utføre en minstekvadrat-beregning av median overflatedata ervervet under måleskanningen. Warp blir deretter beregnet ved å finne det maksimale avviket fra referanseplanet (RPD maks ) og minimumsdifferensiering fra referanseplanet (RPD min ). RPD maks er definert som den største avstanden over referanseplanet og er et positivt tall. RPD min er den største avstanden under referanseplanet og er et negativt tall.
Figuren over er en illustrasjon av varpberegningen. I dette eksemplet er RPDmax 1,5 og vises som den maksimale avstanden til medianflaten over referanseplanet. RPDmin er - 1,5 og vises som den maksimale avstanden til medianflaten under referanseplanet. Merk varp er alltid en positiv verdi.
Warp = 1,5 - (-1,5) = 3
Det illustrerer også nytten av å ta både bue- og varpeavlesninger. Medianoverflaten på den viste skiven krysser referanseplanet ved skivasenteret, derfor vil baugmåling være null. Den beregnede varpverdien er mer nyttig i dette tilfellet fordi den forteller brukeren at skiven har formformede uregelmessigheter.
